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詢盤
蒸發舟是一種在高溫下蒸發金屬的儀器。它是一種陶瓷復合材料,主要成分是二硼化鈦(TiB2)和氮化硼(BN),有時還會加入其他材料來改善某些性能。采用現代精細陶瓷制備方法生產,具有金屬耐腐蝕性好、耐高溫、導電性能好、真空下使用壽命長等特點,可滿足所有現代真空金屬化工藝的生產要求。主要用于塑料薄膜的連續鍍鋁:如聚酯、聚丙烯薄膜鍍鋁電容器、塑料薄膜食品保鮮鍍鋁袋、激光鍍鋁防偽商標、燙金鍍鋁聚酯薄膜等。其次,用于顯像管熒光屏鍍鋁、大規模集成電路電子束蒸發、熔煉稀有金屬的坩堝、電解鋁熔池電極。
蒸發鍍膜工藝流程
加熱蒸發:
包括固相或液相轉變為氣相的過程,每種物質在不同的溫度下有不同的飽和蒸汽壓。
運輸過程:
蒸發的原子或分子在蒸發源和襯底之間的傳輸過程中與殘留氣體分子發生碰撞,這種碰撞與蒸發的原子或分子的平均自由程以及蒸發源和襯底之間的距離有關。
沉積過程:
原子或分子通過蒸發作用沉積在基底表面,即蒸汽的冷凝成核,核的生長形成連續的薄膜,是氣相轉變為固相的過程。
注意:以上過程必須在空氣稀薄的真空環境下(10-?~1pa),否則蒸發顆粒會與空氣分子碰撞,造成膜污染甚至形成氧化物,或者蒸發源被氧化燒毀。
涂層蒸發源
常用的蒸發源有蒸發舟和坩堝。
蒸發舟是一種應用廣泛的蒸發源,結構簡單,使用方便。常見的蒸發舟有鎢、鉬、鉭、鈮、石墨、氮化硼等。其中鎢舟、鉬舟、鉭舟在高溫下會變脆。
常見的坩堝有鎢坩堝、鉬坩堝、鉭坩堝、石墨坩堝、銅坩堝、氧化鋁坩堝、應時坩堝、氮化硼坩堝等。
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